Специалисты из ЦНИОКИ робототехники и технической кибернетики разработали лабораторную технологию получения тонких пленок из сплава с эффектом памяти формы.

Суть эффекта памяти формы состоит в том, что при некоторой температуре изделию из материала, обладающего этим эффектом, придают форму. Затем при меньшей температуре эту форму меняют. Однако при нагреве старая форма восстанавливается. В основе эффекта лежит так называемое мартенситное превращение, причем одна температура должна быть выше температуры мартенситного превращения, а другая — ниже. Соединяя пластинки из двух материалов с разными температурами мартенситного превращения, можно создать двигатель, который будет работать при попеременном изменении температур этих пластин.

Пленки получаются методом магнетронного напыления на кремниевой подложке. Кроме того, исследователи создали математическую модель поведения подобных двухслойных структур. С помощью модели исследователи выбрали два материала с эффектом памяти формы и изготовили из них масштабные макеты двухслойного балочного микропривода для зонда сканирующего микроскопа.

Эта работа — методическая база для создания адаптивных зондов сканирующих зондовых микроскопов, которые обладают повышенной точностью и могут служить для метрологического оснащения нанотехнологий. Другое применение — приводы для микророботов и других микромеханических устройств.